多孔黑氧化铝吸盘静电吸附Al2O3陶瓷扩散器

静电吸附氧化铝板

多孔陶瓷真空吸盘，由金属或陶瓷底座与特殊的多孔陶瓷相结合，配合精密的内部风道设计，在施加负压时，可以平稳、稳定地将工件吸附在真空吸盘上。

多孔氧化铝吸盘

强度高，具有陶瓷硬度特性，不易划伤或损坏，研磨时不变形，保证研磨时硅片各点受力均匀分布，避免出现断边、碎片等现象。

Al2O3陶瓷扩散器

可重复使用且易于修复，修复过程中不会出现破裂、碎裂、脱粒现象。经过修复和接地后，可以在一定程度上重复使用，具有高绝缘性能和消除静电的绝缘材料。